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物理气相沉积炉

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该设备吸收德国某公司的技术开发，采用中频感应加热方式，在真空条件下通过物理气相透射法生长出高质量的光学晶体，可生长碳化硅等第三代半导体材料，可根据客户的实际需求进行定制。