主页  ꄲ  真空镀膜装备  ꄲ  PECVD450化学气相沉积V1.0
넳 넲
ꁆ ꁇ

PECVD450化学气相沉积V1.0

返回产品 >>
联系我们 >>
本设备采用等离子体增强化学气相沉积技术，在玻璃、硅、石英等金属衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅、微晶硅等功能薄膜，制备非晶硅、微晶硅薄膜太阳能电池器件，并且还可用于在工件上制备超硬薄膜。广泛应用于高校、科研院所和企业