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IBS900离子束溅射装置V2.0

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满足精密光学、 天文、 电学、 激光、 红外、 光通信、 光电器件等领域对精密薄膜得要求 ， 电阻蒸发、 电子束蒸发、 离子源辅助、 离子束沉积等。
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