被动元（无源）器件
、被动元器件
1. 片式电阻 / 薄膜电阻
o 膜层：TaN、NiCr、CrSi、TiN
o 设备：磁控溅射
o 作用：高精度、低温度系数、高稳定电阻
2. 薄膜电容
o 膜层：Al₂O₃、HfO₂、Ta₂O₅、ZnO
o 设备：溅射、ALD、反应蒸发
o 作用：高介电、高频特性好、体积小
3. 电感 / 磁控器件
o 膜层：Co、NiFe、FeTaC 软磁薄膜
o 设备：溅射
o 作用：高频低损耗、微型化
1. 片式电阻 / 薄膜电阻
o 膜层：TaN、NiCr、CrSi、TiN
o 设备：磁控溅射
o 作用：高精度、低温度系数、高稳定电阻
2. 薄膜电容
o 膜层：Al₂O₃、HfO₂、Ta₂O₅、ZnO
o 设备：溅射、ALD、反应蒸发
o 作用：高介电、高频特性好、体积小
3. 电感 / 磁控器件
o 膜层：Co、NiFe、FeTaC 软磁薄膜
o 设备：溅射
o 作用：高频低损耗、微型化
- 2026-05-21
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