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物理气相沉积炉
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该设备吸收德国某公司的技术开发,采用中频感应加热方式,在真空条件下通过物理气相透射法生长出高质量的光学晶体,可生长碳化硅等第三代半导体材料,可根据客户的实际需求进行定制。
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