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IBE/EBPVD500电子束蒸发镀膜V 2.0

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该设备是电阻，电子束或电阻电子束复合涂层系统，与IBE等离子蚀刻和在线辅助涂层兼容。过流元件全部采用SUS304，真空系统后置，配备标准配置分子泵系统，配备标准工业人机界面和西门子PLC系统，手动和自动模式自由切换，可满足工业
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