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IBD/EBPVD450电子束蒸发镀膜V3.0

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主要功能: 多靶复合磁控溅射镀膜机可满足合金膜,单层膜,多层膜,导电膜,非导电膜和反应溅射的需求。它具有极高的实用性和通用性 (三靶、垂直和共溅射、基板在线清洗等),可提供高水平的功能膜开发,特别适用于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、t