超迈光电: 国内外干式真空泵的发展。

1。

目前，国外干式真空泵市场不断增长，主要应用于半导体工业、化工、制药和薄膜工业。在日本，半导体行业已全部使用干式真空泵代替油封机械泵，而在欧洲和美国的半导体行业。使用干式真空泵代替油封机械泵。目前，干式真空泵的主要类型有爪式、罗茨式、涡旋式、螺杆式和往复活塞式、膜片式等。

英国Edward公司年产爪式和罗茨式干泵8000套，年销售额为1.5亿美元，主要用于半导体，制药和化学工业。日本Annet Anlet公司年生产8000台三叶根干式泵，主要用于化工、塑料、农药等行业。干式真空泵的发展空间非常广阔。

德国普旭，莱宝，美国Keni，日本Ebara，Kashiama (日本)，Alcatel (法国) 和其他国际真空行业巨头花费了大量资源用于开发和制造干式真空泵。

人预测:21世纪将是干式真空泵。

2。

据预测，2010年，我国将成为全球第二大半导体集成电路市场，总需求约1000亿片，达到1000亿美元以上的市场规模。需要建设30多条大型生产线才能满足需求。大约需要15000个干式真空泵。随着清洁真空的逐步普及，食品、化工、制药和薄膜等行业也急需大量性价比优异的干式真空泵。然而，国内只有少数企业从事干式真空泵的研发和制造，如龙河-爪式干式真空泵、申克一-涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。

3。干式真空泵主要应用领域

1。低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺和半导体蚀刻工艺。

2、除半导体工艺生产的一些颗粒外，不希望颗粒混入泵油中，而希望将颗粒排出泵外，用一定型号的干式机械真空泵即可满足要求；

3、化工、制药、食品中的蒸馏、干燥、消泡、包装等，防止有机溶剂污染；

4.它用作一般无油清洁真空系统的前泵，以防止油污染。