超迈光电浅谈真空镀膜机的维修保养方法

真空镀膜机可以分为很多种类，根据行业的不同，可以分为装饰真空镀膜机、光学镀膜机、汽车零部件镀膜机、绕线真空镀膜机、连续镀膜机等，应用领域不同，型号不同，但是真空镀膜机的维护方法几乎是一样的，下面为您详细介绍真空镀膜机的常见维护方法:

1、真空镀膜技术设备每完成200个镀膜应用次数以上，应清洁工作室可以一次。

方法: 真空室内壁用氢氧化钠饱和溶液反复擦洗(注意人体皮肤不能直接接触氢氧化钠溶液，以免烫伤) ，反应后，薄膜脱落，氢气释放。用清水清洁真空室，用沾有汽油污渍的布清洁精密泵阀内的污垢。 

2、低真空泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)时，需要更换新油。

方法: 拧开排油螺栓，释放旧油，然后泵启动几秒钟，使旧油泵完全排出。拧下排水螺栓，并添加新的油的评级(油观察镜)。连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦拭箱内的污垢。

真空镀膜机重启前注意检漏。 

3、扩散泵已连续使用6个多月，泵速明显减慢，或运行不当，充满空气，拆卸连接水管，拆下电炉托盘，拧下一级喷嘴，先用汽油清洗泵腔和泵内胆，再用洗衣粉和水清洗，然后用清水彻底清洗。水蒸发后，安装泵囊，加入新的扩散泵油，再将其放回机体，连接水管，安装电炉板，即可重新启动。重启前要注意检漏。

方法:启动维护泵，关闭闸门。几分钟后，观察扩散泵的部分真空度是否达到6X10 Pa，否则需要检漏。检查接头是否装有密封橡胶圈或压扁的密封圈。漏气隐患消除后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏，真空镀膜设备无法进入工作状态。