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研究热蒸发/磁控溅射

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主要功能: 多靶复合磁控溅射镀膜机可满足合金膜，单层膜，多层膜，导电膜，非导电膜和反应溅射的需求。它具有极高的实用性和通用性 (三靶、垂直和共溅射、基板在线清洗等)，可提供高水平的功能膜开发，特别适用于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、t
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